随着半导体照明逐渐成为LED产业发展的主要推动力,现有被垄断的设备还不能满足LED大规模生产和产业高速发展的需要,这为实现大型MOCVD设备国产化战略目标提供了一个跨越式发展的契机。
国内半导体照明产业起步晚于欧美等国家,因此大力扶持半导体照明产业“跨越式发展”也就一直是政府政策的重点。而作为LED整个产业链的核心,外延芯片及MOCVD设备的国产化自然成为发展的重中之重。
从2011年开始,国内多家LED设备企业开始尝试推出国产化MOCVD设备。截至2012年底,国内已有包括中晟光电、中微半导体、理想能源、广东昭信在内的十余家企业涉足MOCVD设备的研发。其中一些企业的设备已经达到了大规模产业化的程度,在易用性及成本等方面与国际大厂相比也具有相当高的竞争力。
中晟光电设备(上海)有限公司董事长陈爱华博士表示,MOCVD设备国产化还将会是一个比较漫长的过程,不可能一蹴而就。
“目前多数企业短期内不敢对国产MOCVD设备寄予过多期待,因为LED照明设备平均的使用年限都在5-7年左右,对MOCVD有很高的要求。”北方微电子总裁赵晋荣表示,由于LED市场竞争又非常激烈,产品质量是企业的生命,如果短期内大面积使用国产MOCVD设备,可能给产品质量带来较大的不确定性,且MOCVD设备需要不断地维护更新,对设备提供方的实力要求也较高。
而据记者采访众多国内芯片厂家的结果来看,外延芯片企业对采用国产MOCVD也都表示短期内不会大规模采用,除非得到了市场验证。
“在高端设备制造领域,随着国产设备的逐步成熟,进口设备价格往往都会有较大幅度的下跌,对于产业后来者来话在设备成本方面会有一定的优势。但这种优势并非产业竞争的决定性因素,公司有信心通过核心技术研发、市场规模等先行优势来消化设备成本相对较高的不利因素。同时,我们认为在LED外延及芯片制造设备领域,目前国产设备尚未完全成熟并达到替代进口设备的程度。”外延芯片大厂德豪润达(002005.SZ)在回复深交所互动平台上投资者关于是否考虑采用国产MOCVD设备时如此表示。
德豪润达的态度也代表目前很多国内外延芯片企业的心声。
本土MOCVD厂家中微半导体设备资深副总裁杜志游博士表示,国产MOCVD必须在稳定性、可靠性及后期客户使用的便捷性以及维护的服务上做到更好,才能与Aixtron和Veeco等国外厂家竞争。
“MOCVD的国产化目前看有希望,但是道路还很曲折,任重道远。在国产化过程中,需要政府在政策、融资渠道等方面对国产设备厂商做出支持,也需要整个LED产业链支持国产厂家。”陈爱华表示,目前MOCVD国产化进程已经到了最关键的时候,走过去,就是春天。
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